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冷凝器氦检漏设备怎么才能规避真空泵油造成的污染?
2024.06.11

冷凝器氦检漏设备的较小可检漏率(灵敏度),指的是在检漏装置在处于一个较佳的工作条件下(示漏气体采用的是一个大气压的纯氦),做“动态检漏”时能检出的较小漏孔的漏率。

1、较佳工作条件。

指被检镀膜设备部件的材料出气很少,且没有较大漏孔;检漏装置本身的参数调整到较佳工作状态等。

2、动态检漏。

指不用累积法进行检漏,检漏装置本身的真空抽气系统仍正常进行抽真空,装置的反应时长小于3s,3s当中的抽气系统的时间常数是小于一秒的;

3、较小可检。

指其信号是本底噪声的两倍;

4、漏孔的漏率。

指干燥空气(100kPa的压力)经漏孔通向真空端(远远低于100kPa的压力)的漏率。

对氦分压变化有反应的氦质谱检漏仪,为表征这种反应特性,较好给出检漏装置的较小可检浓度,即浓度灵敏度。所谓检漏装置的“浓度灵敏度”,指处在工作压力下(工作压力一般为10⁻²Pa~10⁻³Pa)的质谱室,使用该装置可检示的大气中的较小氦浓度的变化。而镀膜设备的氦质谱检漏仪中的“较小可检浓度”则为信号与装置噪声比为一或二时,当中氦的浓度。


冷凝器氦检漏设备适用于工业、分析研究、镀膜市场等。氦质谱检漏仪坚固耐用,抗震性能强,可重复使用多年,仍保证高精度检漏率。氦质谱检漏仪质量可靠,保证了广泛的市场应用。但是使用氦质谱检漏需要具备一定的条件,如果没达到相应的条件,很可能造成严重后果。

冷凝器氦检漏设备电源电压220V频率50HZ额定功率2000W。仪器应安装在符合仪器使用环境要求的地方,特别是氦质谱泄漏检测器的电源插座,应符合要求,地线良好,通风间距约30cm。

放置冷凝器氦检漏设备,以避免倾斜或倾的危险。氦质谱泄漏检测器底部有一个安装孔,可以固定在桌子或支架上。在仪器运行前,确保真空泵中的机械泵油是否足够,机械泵油必须使用机械泵型号的特殊油。